3.1　未來(lái)技術(shù)發(fā)展方向

目前，國外傳感器產(chǎn)品技術(shù)發(fā)展趨勢是應用微機械和微電子相結合的MEMS工藝、新材料、高精度補償技術(shù)和高可靠性設計技術(shù)，使傳感器產(chǎn)品逐步向集成化、智能化、微型化、可移動(dòng)、多樣化方向發(fā)展。

（1）集成化：一種是同類(lèi)型多個(gè)傳感器的集成，即同一功能的多個(gè)傳感元件用集成工藝在同一平面上排列，組成線(xiàn)性傳感器。另一種是多功能一體化，如幾種不同的敏感元器件制作在同一硅片上，制成集成化多功能傳感器，集成度高、體積小，容易實(shí)現補償和校正，是當前傳感器集成化發(fā)展的主要方向。

（2）智能化：智能傳感器這一概念是由國外引進(jìn)的，通常定義為：帶有微處理器，具有信息處理和通信功能的傳感器。處理功能包括：自標定、自采集、自補償、自檢驗、自處理、自存貯、自決策、自?xún)?yōu)化等功能；通信功能包括雙向通信、標準化數字輸出或符號輸出功能，即其輸出不再是單一的模擬信號，而是經(jīng)過(guò)微處理器后的數字信號。

（3）微型化：隨著(zhù)各應用領(lǐng)域發(fā)展的需要，要求傳感器本身的體積越小越好。傳感器的微型化是指敏感元件的特征尺寸為mm→μm→nm類(lèi)傳感器。這類(lèi)傳感器具有尺寸上的微型性和性能上的優(yōu)越性，要素上的集成性和用途上的多樣性，功能上的系統性和結構上的復合性。其制備工藝涉及等。傳感器將MEMS技術(shù)、IC技術(shù)、激光技術(shù)、精密超細加工技術(shù)引入傳感器的生產(chǎn)制造，實(shí)現了規?；a(chǎn)，并為傳感器微型化發(fā)展提供了重要的技術(shù)支撐。

（4）可移動(dòng)：進(jìn)入21世紀后，由于MEMS技術(shù)、低功耗的模擬和數字電路技術(shù)、低功耗的無(wú)線(xiàn)射頻（RF）和無(wú)線(xiàn)傳感網(wǎng)技術(shù)的發(fā)展，克服了節點(diǎn)資源限制，并滿(mǎn)足了傳感器網(wǎng)絡(luò )擴展性、容錯性等要求，使得開(kāi)發(fā)小體積、低成本、低功耗的無(wú)線(xiàn)微傳感器成為可能。無(wú)線(xiàn)通信及組網(wǎng)技術(shù)的發(fā)展，可使大量傳感器通過(guò)網(wǎng)絡(luò )構成智能化、協(xié)同工作的信息感知系統，從而提高了傳感器的分布式、大面積信息探測能力，使傳感網(wǎng)的實(shí)現成為可能。

（5）多樣化：新材料技術(shù)的突破加快了多種新型傳感器的涌現。新型敏感材料是傳感器的技術(shù)基礎，材料技術(shù)研發(fā)是提升性能、降低成本和技術(shù)升級的重要手段。除了傳統的半導體材料、光導纖維等，有機敏感材料、陶瓷材料、超導、納米和生物材料等成為研發(fā)熱點(diǎn)，生物傳感器、光纖傳感器、氣敏傳感器、數字傳感器等新型傳感器加快涌現。

3.2　行業(yè)發(fā)展措施建議

根據《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動(dòng)指南 （2017-2019年）》的總體目標要求，針對行業(yè)現存的自主核心技術(shù)薄弱、優(yōu)異產(chǎn)品缺乏、產(chǎn)品可靠性差、科技創(chuàng ) 新及其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展緩慢等問(wèn)題，提出傳感器及儀器儀表行業(yè)下一步重點(diǎn)發(fā)展措施建議如下：

（1）完善傳感器及儀器儀表公共服務(wù)平臺建設，推動(dòng)科技創(chuàng ) 新和產(chǎn)業(yè)相結合。進(jìn)一步完善技術(shù)研發(fā)、標準、知識產(chǎn)權、檢測及公共服務(wù)能力，借鑒文物裝備、醫療儀器等專(zhuān)項組織模式，主配牽手、產(chǎn)需對接，助力產(chǎn)業(yè)持續發(fā)展。

（2） 建設傳感器及儀器儀表創(chuàng ) 新中心，助力行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。建設創(chuàng ) 新中心，攻克可靠性、穩定性、高精度、封測工藝、批量化校準等共性技術(shù)難題，形成一批具有知識產(chǎn)權和核心競爭力的關(guān)鍵技術(shù)成果，研發(fā)適用于消費電子、工業(yè)、農業(yè)、交通、生物醫療等行業(yè)的量大面廣智能傳感器以及面向航天航空、深海探測等特殊應用的智能傳感器產(chǎn)品，培養一批復合型創(chuàng ) 新人才骨干，設計與制造技術(shù)達到國際水平。2018年7月國家智能傳感器創(chuàng ) 新中心在上海啟動(dòng)，專(zhuān)注傳感器設計集成技術(shù)、先進(jìn)制造及封測工藝等技術(shù)創(chuàng ) 新。

（3）培育傳感器及儀器儀表龍頭企業(yè)，提升解決方案供給能力和水平。龍頭企業(yè)擁有強大的生產(chǎn)、市場(chǎng)和技術(shù)能力，在產(chǎn)業(yè)鏈中充當著(zhù)核心企業(yè)或系統集成商的角色，是產(chǎn)業(yè)生態(tài)成長(cháng)的關(guān)鍵力量。以龍頭企業(yè)牽引，面向消費電子、汽車(chē)電子、工業(yè)控制、健康醫療、文物保護、節能環(huán)保等重點(diǎn)行業(yè)領(lǐng)域，開(kāi)展智能傳感器及儀器儀表應用示范。